នៅក្នុងការផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច ដំណើរការលីចូក្រាហ្វីគឺជាជំហានដ៏សំខាន់ និងជំរុញដោយភាពជាក់លាក់ ដែលកំណត់ទិន្នផលបន្ទះឈីប។ ក្នុងនាមជា "ស្នូលនៃការប៉ះពាល់ និងការថតរូបភាព" នៅក្នុងដំណើរការផលិតបន្ទះសៀគ្វី លីចូក្រាហ្វីគ្របដណ្តប់លើដំណើរការទាំងមូល - រួមទាំងថ្នាំកូតបង្វិល ការប៉ះពាល់ ការអភិវឌ្ឍ ការឆ្លាក់ និងការសម្អាតសើម - ហើយដាក់តម្រូវការយ៉ាងតឹងរ៉ឹងលើអនាម័យបរិស្ថាន ការគ្រប់គ្រងភាពមិនបរិសុទ្ធ ការការពារអេឡិចត្រូស្តាទិច និងភាពធន់នឹងសារធាតុគីមី។ ភាគល្អិតធូលីកម្រិតមីក្រូ ការធ្វើចំណាកស្រុកអ៊ីយ៉ុងដាន និងការបញ្ចេញអេឡិចត្រូស្តាទិចបណ្តោះអាសន្ន ទាំងអស់នេះអាចបណ្តាលឱ្យមានពិការភាព photoresist ដោយផ្ទាល់ ការមិនតម្រឹមលំនាំ អុកស៊ីតកម្មបន្ទះសៀគ្វី និងសៀគ្វីខ្លីៗនៅក្នុងសៀគ្វី ដែលនាំឱ្យមានការបោះចោលបន្ទះសៀគ្វីទាំងមូល និងបណ្តាលឱ្យមានការខាតបង់ផលិតកម្មយ៉ាងច្រើន។ FAB ជាច្រើនតស៊ូដើម្បីបង្កើនទិន្នផលនៃដំណើរការលីចូក្រាហ្វីរបស់ពួកគេ។ សូម្បីតែពេលដែលឧបករណ៍ ដំណើរការ និងប៉ារ៉ាម៉ែត្របរិស្ថានទាំងអស់មានសណ្តាប់ធ្នាប់ក៏ដោយ ចំណុចខ្វះខាតច្រើនតែស្ថិតនៅក្នុងសម្ភារៈការពារដៃដែលហាក់ដូចជាមិនសំខាន់។ ស្រោមដៃបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ទី 1,000 ធម្មតា ឬថ្នាក់ឧស្សាហកម្មគឺមិនស័ក្តិសមទាំងស្រុងសម្រាប់ស្តង់ដារខ្ពស់បំផុតនៃដំណើរការលីចូក្រាហ្វី។
ហេតុអ្វីបានជាការប្រើប្រាស់ស្រោមដៃបន្ទប់ស្អាតធម្មតាត្រូវបានហាមឃាត់យ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៅក្នុងដំណើរការបោះពុម្ពលីថូក្រាហ្វី?
សំណល់ម្សៅបណ្តាលឱ្យមានការបំពុល photoresist
អ៊ីយ៉ុងស្ពាន់ធ័រ និងក្លរួលើសលប់ធ្វើឱ្យសៀគ្វីនៅលើបន្ទះសៀគ្វីច្រេះ
អគ្គិសនីឋិតិវន្តបានបាត់បង់ការគ្រប់គ្រង ដែលបណ្តាលឱ្យមានការបែកបាក់នៅក្នុងបន្ទះឡាស៊ែររូបថតដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
ការរបក និងការជ្រុះ ដែលនាំឱ្យមានពិការភាពនៃសារធាតុបរទេសនៅក្នុងដំណើរការផលិត
ស្រោមដៃ LjieClean ថ្នាក់ 100 គ្មានម្សៅ នីទ្រីល
ក្រុមហ៊ុន Suzhou Leader កំពុងផ្តោតលើវិស័យផលិតបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច និងដោះស្រាយចំណុចឈឺចាប់ក្នុងដំណើរការបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វី យើងបានបង្កើតស្រោមដៃនីទ្រីលថ្នាក់ 100 ឯកទេសគ្មានម្សៅ និងបញ្ចេញឧស្ម័នទាប ដែលបំពេញតម្រូវការផលិតកម្មនៃដំណើរការបោះពុម្ពលីតូក្រាហ្វីទាំងមូល ដែលធ្វើឱ្យពួកវាក្លាយជាសម្ភារៈការពារដែលពេញចិត្តសម្រាប់រោងចក្រ និងក្រុមហ៊ុនវេចខ្ចប់ និងធ្វើតេស្តបន្ទះសៀគ្វីជាច្រើន។
១.ដំណើរការគ្មានម្សៅដែលមានមូលដ្ឋានលើឌីក្លរីត៖ គ្មានការចម្លងរោគម្សៅនៅក្នុងដំណើរការថតចម្លងរូបថតទេ
ដោយប្រើប្រាស់ដំណើរការបន្សុទ្ធក្លរីនជាក់លាក់សម្រាប់ស៊ីមីកុងដុកទ័រ វិធីសាស្ត្រនេះមិនតម្រូវឱ្យមានការបន្ថែមសារធាតុបន្ថែមដូចជា talc ម្សៅពោត ឬប្រេងស៊ីលីកូនពេញមួយដំណើរការនោះទេ។ វាធានានូវការអនុវត្តរលូនតាមរយៈដំណើរការខ្លួនវា ដោយលុបបំបាត់ភាគល្អិតម្សៅ និងសំណល់ប្រេងស៊ីលីកូនដែលបំពុល photoresist នៅប្រភព ដោយហេតុនេះដោះស្រាយបានទាំងស្រុងនូវពិការភាពភាគល្អិតបរទេសនៅក្នុងដំណើរការ photolithography។
ការលាងសម្អាតដោយទឹកបរិសុទ្ធខ្លាំងពហុដំណាក់កាលចំនួន 2 សម្រេចបាននូវស្ពាន់ធ័រទាប ក្លរីនទាប និងមាតិកាអ៊ីយ៉ុងទាប
តាមរយៈវដ្តលាងជម្រះជ្រៅជាច្រើនដងជាមួយទឹកបរិសុទ្ធខ្ពស់ សារធាតុបន្ថែមវត្ថុធាតុដើម និងសំណល់លើផ្ទៃត្រូវបានយកចេញ។ មាតិកានៃស្ពាន់ធ័រ ក្លរីន និងអ៊ីយ៉ុងលោហៈរលាយត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដែលបណ្តាលឱ្យមាន NVR ទាប (សំណល់មិនងាយនឹងបង្កជាឧស្ម័ន)។ នេះការពារការកត់សុីនៃបន្ទះសៀគ្វី ការច្រេះថ្នាំកូត និងពិការភាពឆ្លាក់ ដែលធ្វើឱ្យស្រោមដៃឆបគ្នាយ៉ាងពេញលេញជាមួយនឹងដំណើរការលីតូក្រាហ្វីដែលទាមទារសម្រាប់បន្ទះសៀគ្វីទំហំ 8 និង 12 អ៊ីញ។
ការការពារ ESD ដែលបានកែប្រែក្នុងផ្សិតចំនួន 3 ដើម្បីការពារបន្ទះស្តើងដែលងាយនឹងប្រតិកម្មអេឡិចត្រូស្តាទិច
មិនដូចស្រោមដៃប្រឆាំងឋិតិវន្តដែលមានលក់នៅលើទីផ្សារជាមួយនឹងថ្នាំកូតបាញ់បណ្តោះអាសន្នទេ Gonars ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាកែប្រែប្រឆាំងឋិតិវន្តក្នុងផ្សិតលើសម្ភារៈមូលដ្ឋាននីទ្រីល។ នេះធានានូវភាពធន់នឹងផ្ទៃដែលមានស្ថេរភាព និងឯកសណ្ឋាន ដោយរំលាយអគ្គិសនីឋិតិវន្តជាបន្តបន្ទាប់ពេញមួយដំណើរការដើម្បីការពារការប្រមូលផ្តុំឋិតិវន្តដែលអាចបណ្តាលឱ្យមានការបែកបាក់នៃ photoresist និងការខូចខាតដល់សៀគ្វី wafer ជាក់លាក់។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់ជំហាន lithography ស្នូលដូចជាការប៉ះពាល់ និងការអភិវឌ្ឍ។
4 សមល្មម និងអាចបត់បែនបាន ស័ក្តិសមសម្រាប់ប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់កម្រិតមីក្រូន
សម្ភារៈស្រោមដៃនេះមានភាពបត់បែន និងស្របតាមរាងរបស់ដៃ។ ដោយមានការរចនាវាយនភាពមិនរអិលនៅលើចុងម្រាមដៃ វាមានទម្ងន់ស្រាល និងមិនធំ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់ប្រតិបត្តិការដែលមានភាពជាក់លាក់ដូចជាការដោះស្រាយបន្ទះបន្ទះឡាស៊ែររូបថត ការបំបាត់កំហុសឧបករណ៍ និងការត្រួតពិនិត្យភាពជាក់លាក់។ វាផ្តល់នូវចលនាគ្មានការរឹតបន្តឹង និងការពារការរអិល ដែលកាត់បន្ថយការខូចខាតដែលបណ្តាលមកពីការប៉ះទង្គិចដោយចៃដន្យក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការដោយដៃ។ លើសពីនេះ វាមានភាពធន់នឹងសារធាតុរំលាយឡាស៊ែររូបថត និងអាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងស្រាលៗ ហើយនៅតែប្រើប្រាស់បានយូរដោយមិនចាស់ ឬរហែកសូម្បីតែក្នុងអំឡុងពេលប្រើប្រាស់យូរក៏ដោយ។
5
✅ ការវេចខ្ចប់បិទជិតដោយបូមធូលីពីរស្រទាប់ លុបបំបាត់ការចម្លងរោគបន្ទាប់បន្សំ
ផលិតផលដែលបានបញ្ចប់ត្រូវបានវេចខ្ចប់ពេញមួយដំណើរការនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ទី 100 ដោយប្រើការវេចខ្ចប់បិទជិតដោយបូមធូលីពីរជាន់ ដែលញែកវាចេញពីធូលី និងសំណើមទាំងស្រុងក្នុងអំឡុងពេលផ្ទុក និងដឹកជញ្ជូន។ មិនមានការចម្លងរោគបន្ទាប់បន្សំនៅពេលបើកកញ្ចប់ទេ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យពួកវាត្រូវបានប្រើប្រាស់ភ្លាមៗនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតលីចូក្រាហ្វីថ្នាក់ទី 100។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែកក្កដា ឆ្នាំ ២០២៦