ប្រឆាំងនឹងផ្ទៃខាងក្រោយនៃតម្រូវការ "គ្មានពិការភាព" កាន់តែខ្លាំងឡើងនៅក្នុងការផលិតបន្ទះឈីបអេឡិចត្រូនិច ស្រោមដៃ Lijie ទំហំ 9 អ៊ីញដែលមានជាតិក្លរីនទាប បានក្លាយជាឧបករណ៍ការពារដែលមិនអាចខ្វះបាននៅក្នុងដំណាក់កាលកែច្នៃបន្ទះសៀគ្វី និងដំណាក់កាលវេចខ្ចប់បន្ទះឈីប ដោយសារតែសំណល់អ៊ីយ៉ុងទាប និងដំណើរការសម្អាតខ្ពស់របស់វា។ តាមរយៈដំណើរការឯកទេស មាតិកាក្លរីននៅក្នុងស្រោមដៃត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៅ ≤50ppm ដែលលើសពីស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម 100ppm យ៉ាងខ្លាំង។ នេះការពារហានិភ័យនៃការច្រេះដែលបណ្តាលមកពីការធ្វើចំណាកស្រុកអ៊ីយ៉ុងក្លរីតនៅលើផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី ដោយបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងរបស់ក្រុមហ៊ុនផលិតបន្ទះឈីបអេឡិចត្រូនិចសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងការបំពុលមីក្រូទស្សន៍។
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលីតូក្រាហ្វី អនាម័យស្រោមដៃប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើភាពជាក់លាក់នៃថ្នាំកូត photoresist និងលទ្ធផលនៃការប៉ះពាល់។ ផលិតផលនេះផលិតនៅក្នុងបន្ទប់ស្អាតថ្នាក់ទី 100,000 និងទទួលរងនូវការដកយកធូលីដោយឡាស៊ែរ បង្ហាញការបញ្ចេញភាគល្អិតលើផ្ទៃក្រោម 0.2 ភាគល្អិត/អ៊ីញការ៉េ ដែលបំពេញតាមស្តង់ដារបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 3។ វាការពារការស្អិតជាប់នៃភាគល្អិតតូចៗទៅនឹងផ្ទៃបន្ទះ wafer យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយពិការភាពលីតូក្រាហ្វី។ ការរចនាប្រវែង 9 អ៊ីញផ្តល់នូវការគ្របដណ្តប់ពេញលេញពីកដៃដល់បាតដៃ។ រួមផ្សំជាមួយនឹងរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែដៃយឺត វាធានានូវភាពបត់បែនប្រតិបត្តិការ ខណៈពេលដែលការពារការហូរធូលីនៅចំណុចបើកដៃអាវប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយបំពេញតាមតម្រូវការដ៏តឹងរ៉ឹងសម្រាប់បរិស្ថានស្អាតថាមវន្តនៅក្នុងដំណើរការលីតូក្រាហ្វី។
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការដែលពាក់ព័ន្ធនឹងសារធាតុប្រតិកម្មច្រេះខ្ពស់ដូចជាការឆ្លាក់ និងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ស្រោមដៃទាំងនេះបង្ហាញពីភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ បន្ទាប់ពីការធ្វើតេស្តជ្រមុជរយៈពេល 24 ម៉ោងនៅក្នុងសារធាតុប្រតិកម្មស៊ីមីកុងដុកទ័រទូទៅដូចជាអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីក និងអាស៊ីតផូស្វ័រ ពួកវាមិនបង្ហាញការហើម ឬប្រេះឡើយ ជាមួយនឹងអត្រាផ្លាស់ប្តូរទម្ងន់ក្រោម 0.8%។ នេះផ្តល់នូវការការពារដៃដែលអាចទុកចិត្តបានសម្រាប់ប្រតិបត្តិករ ខណៈពេលដែលលុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគនៃសារធាតុប្រតិកម្មពីការខូចខាតស្រោមដៃ។ ចុងម្រាមដៃមានវាយនភាពប្រឆាំងនឹងការរអិលឆ្លាក់ដោយឡាស៊ែរកម្រាស់ 0.02 មីលីម៉ែត្រ ដែលបង្កើនការកកិត 35% នៅពេលដោះស្រាយបន្ទះសៀគ្វីទំហំ 12 អ៊ីញ និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរអិលបន្ទះសៀគ្វីចំនួន 60%។ នេះសម្រេចបាននូវតុល្យភាពរវាងសុវត្ថិភាពការពារ និងស្ថេរភាពប្រតិបត្តិការ។
ស្រោមដៃទាំងនេះដែលបច្ចុប្បន្នទទួលបានវិញ្ញាបនបត្រ SEMI F57 ត្រូវបានដាក់ពង្រាយនៅក្នុងខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មទ្រង់ទ្រាយធំនៅរោងចក្រផលិតឈានមុខគេ រួមទាំង SMIC និង Hua Hong Semiconductor។ ពួកវាកាត់បន្ថយអត្រាសំណល់បន្ទះសៀគ្វីដែលបណ្តាលមកពីការប៉ះដោយដៃចំនួន 38% ដែលបានបង្កើតខ្លួនជាជម្រើសដ៏ល្អក្នុងការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក សម្រាប់ការធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពនៃការការពារបន្ទប់ស្អាតជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាពប្រតិបត្តិការ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១១ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៥